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金相顯微檢查系統

 

產品特點

產品特點:

1、NS-503RT可以實現X、Y方向105mm/158mm的移動范圍。


2、全新設計的長工作距專業金相物鏡,高倍物鏡采用半復消技術。


3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。


4、附件齊全,配置完善,可靈活進行系統組合與功能拓展。


5、人機工程學設計、堅實可靠的系統結構。


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技術參數

可選擇的觀察方法

明場/斜照明/偏振光/DIC

明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光

光學系統

無限遠色差校正光學系統

目鏡

PL10X/22平場高眼點目鏡

物鏡

LMPL無限遠長工作距金相物鏡

觀察筒

30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100: 0或50:50

轉換器5孔內傾式轉換器,帶DIC插槽
載物臺

4"雙層機械移動平臺,行程105x 105mm;帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

4"雙層機械移動平臺,行程105x 105mm;帶玻璃平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

顯微鏡鏡體

粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出

反射照明器系統

帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調

透射照明系統/

單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌



系統介紹


大行程移動平臺設計

◆NS-503RT機型采用4'/6'平臺設計,

  可適用于相應尺寸的晶圓或FPD檢測,

  也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

◆NS-503RT: 4英寸平臺,移動范圍: 105mmX

  105mmNS-503RT:6英寸平臺,反射照明移動范圍:

  158mmX158mm,透射照明移動范圍100mmX100mm;

  帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動。

◆通過使用平臺適配接口,所有平臺可在NS-503RT機型

  之間通用。

超長工作距金相物鏡

◆全新設計的超長工作距物鏡,采用半復消色差技術,

  并使用多層寬帶鍍膜技術,使整個視場內的成像清晰銳利,

  色彩自然,明亮舒適。

◆超長的工作距離設計,50X的有效工作距離達到7.8mm,

  100X物鏡也達到了2.1mm,

  大幅拓展了NS-503RT機型的應用領域,

  5X、10X、20X物鏡的設計,通過精選材料及優化設計,

  使DIC微分干涉觀察的性能非常出色。

◆同步設計了全套明暗場兩用物鏡,適用于NS-503RT機型,

  暗場照明亮度比傳統暗場物鏡提高2倍以上。

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高性能物鏡轉換器

◆NS-503RT機型的轉換器采用精密軸承設計,轉動手感

  輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得

  到較好的控制,根據NS-503RT機型配置及功能的不同,

  可以選擇不同型號的轉換器。

PI103C5型: 5孔明場轉換器,用于NS-503RT機型

PI103C5I型: 5孔明場轉換器,帶DIC棱鏡插槽,

  用于NS-503RT機型。

PI103C5BD型: 5孔明暗場轉換器,用于NS-503RT機型

PI103C5BD|型: 5孔明暗場轉換器,帶DIC棱鏡插槽,

  用于NS-503RT機型。

寬視場鉸鏈式三目觀察筒

MXETH25R型正像鉸鏈三目觀察筒,

  所成像的方位與物體實際方位一致,

  物體移動的方向跟像面移動的方向相同,

  便于觀察與操作,適用于6英寸移動平臺配合使用。

MX4RTH30R型鉸鏈三目觀察筒,

  適用于4英寸平臺配合使用。

兩種類型的觀察筒可以在NS-503RT機型內通用。

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安全、穩重的機架結構設計

工業檢測級顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩.定性金屬

  機架,極大的提高的系統的抗振能力與成像的穩定性。

前置低手位粗微同軸調焦機構,內置90-240V寬電壓變壓器,可以適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。

不同的照明器可供選擇

明場反射照明器:單顆大功率5W白色LED照明,

  帶斜照明機構,適用于NS-503RT機型。

明場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明,帶斜照明機構、

  適用于NS-503RT機型。

  明暗場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明,

  并帶有光強預設功能,可快速切換到預設亮度。

  帶明暗場切換機構、適用于NS-503RT機型。

透射照明: NS-503RT均可使用透反兩用機型。

  透射光源為單顆大功率

  5W白色LED,并帶有N.A.0.5聚光鏡。

  透射照明與反射照明可獨立控制,

  即透反照明可同時開啟,亦可單獨開啟。

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明場觀察(反射)

遠心柯拉反射照明系統,配以全新設計的無限遠平場消色差

長工作距金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、

明亮的高畫質顯微圖像。

明場觀察(透射)

5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下,

觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。

透射照明與反射照明為獨立控制,即可同時亮,也可單獨亮。

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斜照明

使用斜照明,可以使物體表面不同材質部分呈現立體圖案,

增加觀察的對比度與視覺效果。斜照明功能只限于NS-503RT機型。

暗場觀察

將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,

可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷,

暗場功能只限于NS-503RT機型。

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簡易偏光觀察

將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的指定位置,即可進行

簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉式兩種

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎上,插入DIC棱鏡,

即可進行DIC微分干涉相襯觀察。

使用DIC技術,可以使物鏡表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。

5X、10X、 20X專為DIC設計,使得整個視場的干涉色一致,

微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。


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應用案例




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