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高精度工具顯微鏡

 

產品特點

新型、數字化測量顯微鏡。主要用于生產車間、計量檢測室的產品零件尺寸檢測。廣泛采用LED照明,根據鏡筒、照明裝置、升降機 構、物鏡,以及對焦機構的選擇不同,有多種型號可供用戶選擇。


產品特點:


1、高質量光學鍍膜層的部件,造就了優質的光學系統;

2、大變倍比、高分辨率、像質好;

3、符合人機工程學的結構設計,長時間使用不感疲勞;

4、明/暗場/DIC 等視場觀查,圖像清晰,視場寬闊;

5、采用進口精密絲桿傳動,定位更準確;

6、對大尺寸測量特別有利的載特臺快速移動機械;

7、Z軸采用大型粗微調手輪,可實現工件準確對焦,

可以2um微調;

8、X軸與Y軸均采用內置式調零開關;

9、Z軸采用IKO直線導軌,保證了Z軸的高精度;


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技術參數


置                                                      

測量范圍(X*Y*Z)

300mm*200mm*150mm

 

工作臺

鋁合金臺面

460mm*360mm

玻璃臺面

360mm*260mm

承重

10KG

影像及測量系統

CCD

1/2"   500萬像素高分辨率彩色相機

三目觀察筒

三目觀察筒(分光比50:50)WH10X目鏡,0.5X CTV接口

物鏡

5X物鏡(明場無限遠,DIC),5X/0.13WD10.8mm

10X物鏡(明場無限遠,DIC),10X/0.25WD10.0mm

20X物鏡(明場無限遠,DIC),20X/0.40WD4.0mm

50X物鏡(明場無限遠,DIC),50X/0.40WD7.8mm

顯示分辨率

0.0001mm

測量精度

X/Y軸

(2+L/200)um

Z軸(選配)

(5+L/200)μm

重復性

2μm

調焦系統

手動

Z軸行程150mm,粗微同軸,Z小調節精度2μm

照明系統

5W白色LED,反射柯勒照明系統,準直透射LED照明

光學系統

明暗場,帶有孔徑光闌。偏光,微分干涉

偏光裝置

含檢偏器、起偏器

電腦

3010MT,G640/2G/500G/DVD/鍵鼠/+E170S液晶顯示器+正版Win7-P專業版(簡中文)

測量軟件

二維幾何量測量功能主要包括:兩點間距離、點到直線的距離、角度、圓心距;十字線顯示,多種尋邊模式;影像支持USB輸入,以BMP格式保存,影像大小640X480

電 源

90~240V電壓,50HZ

儀器重量

230KG


應用實例


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★IC先進封裝bumping尺寸測量

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★PCB板焊腳測量

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★IC先進封裝bumping對位精度測量

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★液晶面板TFT測量


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